山西省制定支持深紫外LED产品制造的《电子信息制造业2023年行动计划》

　　日前，山西发布了《山西省电子信息制造业2023年行动计划》。其中明确指出，针对半导体产业，《行动计划》提出，将围绕材料、装备、制造、封测、应用等产业链环节，支持高效深紫外LED芯片、MiniLED封装等关键技术取得突破，打造大尺寸碳化硅导电型衬底、深紫外LED芯片及消杀应用等优势产品。

　　据了解到，山西自2021年以来已经多次出台政策或项目立项来关注紫外LED的发展。

　　2021

　　如2021年科技部火炬中心对外公布了《科技部火炬中心关于开展2021年度创新型产业集群试点(培育)的通知》，同意将43个产业集群纳入2021年度创新型产业集群试点(培育)，其中值得UV LED产业关注的是，由长治高新区打造的紫外半导体光电创新型产业集群入选。

　　又如山西省“十四五”新装备规划扶持UV LED发展，在《山西省“十四五”新装备规划》中，将在智能检测设备领域重点突破紫外LED芯片、深紫外LED芯片、MiniLED等核心关键技术，重点研发全波段UV LED系列产品、LED外延产品、紫外应用产品。同时，将加大蓝宝石生长设备及MOCVD设备的研发投入。

　　再就是山西长治市市场监督管理局发布《长治市市场监督管理局关于2021年首批长治市地方标准制修订项目的立项公示》，由山西中科潞安紫外光电科技有限公司牵头组织，会同有关单位编制的五项长治市地方标准《消毒用UVC LED术语与定义》、《消毒用UVC LED芯片规格分类》、《UVC LED消毒产品安全操作规程》、《紫外LED消毒机器人通用技术条件》和《公共场所用紫外LED消毒系统验收规范》。

　　2022

　　在2022年4月，山西省科技厅发布2021-2022年度山西省重点研发计划(大健康与生物医药及有关社会发展领域)拟立项公示，中科潞安《大功率深紫外LED模组在公共场所消杀技术的应用研究》项目上榜。

　　2022年12月，山西省第三代半导体产业链上企业牵头的国家“十四五”重点研发项目“大功率深紫外AlGaN基LED发光材料与器件产业化关键技术”获得立项。

　　2023

　　进入2023，除了最新的《山西省电子信息制造业2023年行动计划》，在2月，山西省科技厅发布《2022年度山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目成功揭榜公告》，山西中科潞安紫外光电科技有限公司申报的“深紫外LED量产型金属有机化合物气相沉积(MOCVD)装备研发”项目成功中榜，该项目将获得财政专项经费900万元。

　　小结：这些项目研究内容涵盖深紫外LED先进外延技术、衬底材料、芯片制造技术、封装技术和可靠性评价，从政府层面着手配合，力求政策上给予了扶持，力求实现高性能大功率深紫外LED外延芯片量产，同时电光转化效率、光功率、寿命等主要性能指标突破国际瓶颈。

来源：行家说UV