Schuster 等将 GaN 纳米线生长于单晶金刚石(111)表面,在不使用催化剂及缓冲层的条件下,实现自组装生长过程,并展现出与当时最先进的Si 基 GaN 纳米线相近的性能,为金刚石与 n 型氮化物的结合应用奠定基础。Hetzl 等已形成自组装及区域选择性生长 2 种完善的金刚石表面 GaN纳米线制备方法,在此基础上,完成了 p 型金刚石和 n 型 GaN 纳米线异质二极管的制备,具有良好的整流特性和电致发光特性。2021 年该课题组又完成异质外延单晶金刚石(001)晶面上 GaN 纳米线的制备,推动了大尺寸产业化金刚石基高频高功率器件的应用发展。但是,单晶金刚石基器件仍面临着外延层晶格常数及热膨胀系数差距大,单晶衬底难以大尺寸批量制备,以及成本过高等难题,待异质外延单晶金刚石质量及产能突破后发展潜力巨大。
portant;">中国研究主要类似于 Müller 等采用的金属掩膜过渡生长的方法,在金刚石表面利用金属制备掩膜版,金刚石生长过程中会产生横向外延过程(ELO)覆盖金属掩膜,从而形成金刚石槽道。Fu 等采用金属钨和 ELO 过程制备微流道并通水实验,微流道截面尺寸 10 μm×1 μm,但由于 ELO 生长表面闭合过程,微流道截面呈 T 字形,影响其流动特性。次年,结合电感耦合等离子体(ICP)方法,增加了金刚石微流道深度,可达 20 μm 以上,为金刚石微通道的应用更进一步。崔健磊教授团队,采用纳秒、飞秒激光对多晶金刚石的加工进行了深入研究,系统研究了激光能量、扫描速率、扫描次数、焦点位置等参量及其优化工艺参数对金刚石微槽尺寸的影响规律,对激光烧蚀阈值进行了预测及实验,加工出侧壁锥度 3°内的高质量金刚石微流道。为进一步提升散热性能,将其激光加工方式推广至单晶金刚石,与哈尔滨工业大学及中国电科 38 所合作,开发应用于雷达功率组件的单晶金刚石微流道散散热器,热流密度可达1.38 kW/cm2,远远优于传统多晶金刚石微流道散热达到的 267 W/cm2及 473.9~1 000.4W/cm2。这对中国雷达组件、高能数据中心等超高热流密度应用场景发展有着极大推进作用。
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portant;">图 5 (111)面金刚石基 GaN 纳米线
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portant;">图 6 未切割金刚石及微流道显微形貌 portant;"> portant;">2.2 多晶金刚石材料portant;">目前,将金刚石作为功率器件的热沉或衬底目前已报道了多种技术形式,其中主要有:基于衬底转移技术的金刚石键合,基于金刚石钝化层的低温沉积以及金刚石上的器件外延生长。由于键合技术作为一种更为灵活的并行工艺,因此对于大功率半导体器件散热更具有吸引力。但早期的键合实验一般在 800 ℃高温进行,并且大尺寸高导热单晶金刚石尚未制备,且需要引入低热导率的界面键合材料,从而导致器件性能优势无法充分发挥。现阶段,多晶金刚石与 Si、GaN、Ga2O3 等的室温键合已经通过表面活化键合(SAB)技术实现,从而大大降低了器件与金刚石之间的热膨胀失配。最先开展 GaN/金刚石低温键合方法的是英国航空航天公司(BAESystems),其技术路线首先在 SiC 基 GaN 外延层制备 HEMT 器件,然后将 GaN 基 HEMT 晶片键合在临时载体晶片上,去除 SiC 衬底和部分 GaN 形核层和过渡层,并将其表面和金刚石衬底加工到纳米级粗糙度;随后在 GaN 和金刚石衬底分别沉积键合介质(键合介质可能为 SiN、BN、AlN 等),在低于 150 ℃的温度键合,最后去除临时载体晶片最终获得金刚石衬底 GaN HEMT 器件。团队早期制备的直径 25 mm 金刚石衬底 GaN 结构键合成功率达到70%,随后采用该技术路线将金刚石衬底 GaN 晶片推广到 75~100 mm。除 BAE Systems 外,Mu 等采用表面活化键合法在室温采用 27 nm 厚 Si 键合层制备出金刚石衬底 GaN 晶片,实现了界面层的无缝界面。富士通公司利用极薄 Ti 膜作为保护层结合SAB 技术成果将 GaN 的 SiC 衬底和金刚石相结合,避免离子束轰击带来的界面损伤,获得了较低的界面热阻(67 m2 ·K/GW)。中国方面,北京科技大学已经获得 100 mm 热导率大于 1 500 W/(m·K)金刚石膜,在加工抛光后基本满足低温键合对尺寸、热导率及表面光洁度及面形度等方面的基本要求。在此基础上,南京电子器件研究所(NEDI)与北京科技大学合作,将直径 75 mm 的 GaN HEMTs 外延层转移到多晶金刚石衬底上。但该技术的挑战在于实现大尺寸接合面的极低粗糙度和均匀抛光以及超高真空的要求。此外,原子扩散键合(ADB)是另一种很有前景的低温键合技术,其中在每个光滑干净的表面上溅射金属薄膜,然后在压力下在接触界面上实现原子扩散和金属键合。特别是 Au 具有较高的自扩散系数(300 K 时为 3.3×10–29 m2 /s),且表面无氧化层形成,满足大气环境和常温键合加工的要求。目前,基于键合理论目前常用键合方法还有:共晶键合、瞬态液相(TLP)键合、阳极键合、亲水键合、混合键合等。
portant;">高热流密度器件散热方案经过多年的发展,逐步从远端自然冷却过渡到近结主动液冷乃至相变散热,热流密度也提升至 kW/cm2 级别,超高导热金刚石材料的加入虽然对散热效果有了提升,但是实际应用中仍存在诸多难题亟待解决。具体地,单晶金刚石作为衬底材料仍存在着尺寸受限、价格高昂的缺点,这与生长设备息息相关,也是产业研究的重点;单晶外延 GaN 材料仍无法大面积实现,电性能也有所降低,GaN 沉积技术日趋完善,实现大面积 GaN 高质量外延,提高电学特性是其发展方向;大尺寸多晶金刚石的键合及纳米金刚石钝化在器件中的应用较为相似,存在经济性好、制备流程简单、可大面积制备的优点,但是其性能受界面热阻的影响较大,高界面热阻限制了高热导率带来的增益,如何有效测试界面热阻,优化连接过程,改善异质连接状态,降低界面热阻至关重要,也是现在研究的热点。因此,解决上述材料问题,发展配套装备技术,将为金刚石高效散热提供更广阔的应用前景,也有望推进以 GaN 为代表的第三代半导体器件性能,更进一步接近理论极限。