影响电容式传感器的灵敏度的因素

有关电容式传感器的相关知识，这是说一说影响电容式传感器的灵敏度的因素，电容的相对变化量、非线性误差、差动式结构均会对电容传感器的灵敏度产生影响。

电容式传感器的灵敏度

单级变隙电容的相对变化量：

非线性误差：

如果需要提高灵敏度，则要减小d0，但会增加非线性误差。

差动式结构：

提高电容传感器的灵敏度的方法

以变面积式电容传感器为例，传感器的灵敏度公式如下：

灵敏度= 电容变化抄量 ÷ 极板位移变化量。

分析：

1、当前电容C = 介电常数ε × [极板长袭a×(极板宽b－极板位移变化量)÷两极板间距d]

极板位移变化量指在b方向上发生的变化。

2、电容变化量 = 最大总电容量C0－当前电容C

根据1和2，推导出：灵敏度 = 电容变化量 ÷ 极板道位移变化量 = －(ε × b ÷ d)

三个数均为常数，则灵敏度一定为常数。

以上介绍了电容式传感器的灵敏度的相关知识，希望对大家有所帮助。