等离子清洗机中交变电场对气体放电有什么影响？

等离子清洗机变化的电场中，电场频率和电极间距对放电会产生重要的影响，反应在表面处理效果上比较明显，具体是什么原理呢？今天我们来探讨一下：

为了避免电场频率对放电的影响，必须使电极间带电粒子的四分之一周期内完全到达电极，以不形成间隙中的空间电荷；为此当给定电极间距时交变电场频率应受到的限制，否则放电过程将受到空间电荷的影响，先考虑极板间的正离子的运动，假定交变电场E=E0cosωt，K 为正离子的迁移率（迁移率=带电粒子速度/电场强度），经过计算得出对于给定的极间距离d，交变场最大的频率为：

max=K E0/2πd

如果频率确定，则极间相应距离为：

dmax=K E0/2π

这表明当d>dmax时，则当电场改变极性之前，正离子不能到达阴极消失。在临界状态，即半周期内，正离子来回通过间隙一次，则临界频率c是max的二倍。

c=K E0/πd

下2图表示正离子在电场频率max<

a.ωt=0，电子崩中电子进人阳极，间隙中只剩下正离子，正离子以K E速度向

阴极移动。

b.ωt=π/6，正离子移动d/3的距离。

c.ωt=π/2，正离子移动2d/3的距离，这时电场为零。

d.ωt=5π/6，电场改变极性，正离子移动改变方向。

e.ωt=π，正离子到达阳极，新阴极产新电子崩。

f. ωt=7π/6，间隙中所有正离子消失了。

由此可见，根据空间电荷的影响可以有以下三种情况：

等离子清洗机在交变场情况下，击穿电压和气压的关系也与静态不同，巴邢定律在较高的频率下不再适用。目前，交变电场产生等离子体的方式在工业应用与研究中被广泛应用.。比如大气压低温等离子体放电用中频电源、低气压射频电源以及微波源等等。

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