甘志银：以技术为支撑，推进MOCVD设备国产化

他身为华中科技大学机械科学与工程学院的教授，在半导体工艺设备设计与制造等方面造诣颇深;他自认为是MOCVD设备行业的“后来者”，却带领研发团队早已展开了创新研发之路，并拥有了多项MOCVD核心专利;他是国产MOCVD设备产业化的推动者，率领企业将国产MOCVD设备成功交付企业使用......他就是广东昭信半导体装备制造有限公司(以下简称“昭信”)的总经理甘志银先生。

在中国国际半导体照明论坛(CHINASSL2013)期间，广东昭信半导体装备制造有限公司总经理甘志银先生受邀做客中睿照明网“光友汇”访谈直播间，与大家分享了他在MOCVD设备国产化过程中摸索出的很多值得业界借鉴的经验。

记者：国产MOCVD设备最难的是第一台设备的交付，在2013年8月昭信已经将第一台设备交付企业使用，您能简单介绍一下广东昭信半导体的基本情况，并分享一下成功交付第一台设备的经验吗?

甘志银：昭信半导体装备有限公司是2009年成立的，我们专业做LED设备，实际上,包括我在内的整个研发团队都是来自于华中科技大学。

至于经验，实际上在2009年进行产业化时，我们的设备就已经制造出来了，但当时一直没有提交给企业使用，原因是因为稍微不慎就可能出现问题。比如，设备一旦到企业里使用的不是很好，就不会得到大家的认可，就容易形成“见光死”。尤其是对于提供大型设备的公司来说，对产品的了解和需求需要有一个发展过程。首先，我们把产品做出来以后，通过三年左右的时间对设备进行一步步改进，对设备的可靠性进行认证，并完全按照国外大型设备验收程序一步步进行验收，相比我们的竞争对手和同行，我们可能在这方面花的时间多一些。

其次，我们在与客户沟通和交付使用时能够站在客户角度考虑问题。比如他们关心什么问题，客户提出问题出来，我们就在企业内部把这些问题一一解决，直到客户已经挑不出毛病的时候才交付企业使用。再者说，即便有这样一个沟通交流过程，企业可能还存在担心。对此我们就许下承诺，企业在使用设备过程中，如果对企业造成风险，我们承担一切的责任和风险。我们敢许下这样的承诺，正是因为我们对自己的产品有信心。

记者：您对自己的设备信心特别足，那昭信的MOCVD设备特点和优势是什么?目前面临的问题有哪些?

甘志银：因为国内MOCVD设备是站在国际企业肩膀上做的，我们甚至会站在客户角度，对客户的特别需求进行改进。面临的问题主要是在MOCVD设备推广过程中，由于LED行业正在进行调整，给我们设备的推广增加了一定难度。但是只要客户通过验证并使用过我们的设备，相信这些问题都会一一消失。

与国际MOCVD设备相比，国产MOCVD设备最主要是价格优势。因为只要国内实现国产化，就应该在成本上具有绝对优势。MOCVD在推广过程中我们不赞成进行价格竞争，国产MOCVD设备在一千万以下，对工厂造成的购置成本压力并不是很大。我们要提高产品良率，同时不需要过多的人工干预和维护，企业的成本压力反而来自于其它方面。比如Veeco设备在市场上大行其道，用动态成本进行统计，一片外延片价格大概是170-180元，相对现在市场价在230元以上，大概有50-60元的盈利空间，对于设备购置成本来说大概有10元。相对于人力和设备维护成本开支，国产设备的购置成本就不是关键。

另外，目前国外MOCVD设备对技术人员要求特别高，核心技术人员人工成本也很高。而我们的设备高中生就能轻松操作，并且不会出现安全问题。我希望未来MOCVD设备应该是“傻瓜机”的概念，如果一直高高在上，这样走向照明企业就很困难。

记者：目前在国家和地方政府的大力支持下，LED产业取得了很大发展，但也造成了产能过剩的局面，昭信是怎样应对市场变化的?

甘志银：在国家和地方政府的扶持下，LED产业得到飞速发展，同时也面临产能过剩问题。虽然LED照明前景很好，但是市场需要一步步推进，成本需要一步步消化。包括MOCVD设备在内，2010-2011年一下从300多台增长到700多台，增长速度过快导致目前产业发展的困局。另外，LED应用也在不断地推动这个产业往前进，并在推的过程中由于企业太多，鱼目混杂，大家会考虑LED产品是不是好产品。

尤其MOCVD设备企业，风险很大的一块就是技术的跟风性。从2005年国外30片机，2007年50片机、55片机，然后又到69片机，企业疲于奔命不断的跟风。由于企业不断烦的跟风就造成两个不平等，一个是政府的补贴造成企业之间的不平等，一个是市场的设备更新造成了企业发展的不平等。后来投资者用同样的钱甚至用更少的钱买了更大的产能，造成行业里看起来买了很多台设备，但是很多台设备都是2007年、 2009年以前淘汰的废品。对于MOCVD设备来说，国内MOCVD设备从统计数字看好象过剩，实际上不是过剩，只是大家都在思考LED整个产业到底应该怎么走，现在还没有形成对它强烈的市场需求，这也正是我们所面临的发展困局。

记者：您可以说是技术出身，您客观地评价一下目前国产MOCVD设备的技术水平到底到达了什么地步?

甘志银：我们从2009年做MOCVD，当时做生产研模只有一家，到2010年、2011年做MOCVD的非常多，我只能评价我自己。通过这几年发展，我们发展MOCVD的技术跟国外没有什么差别，我们所开发出来的MOCVD技术不比他们差，甚至很多方面还比他们强。我们的设备实际上在很多情况下表现的比国外设备好，包括设备在生产线使用的情况，也是呈现这样一个现实。现在企业对国产设备认知的存在心里误区，尤其在学术群体当中MOCVD设备是个皇冠，觉得国内企业不太可能做好。其实企业存在疑虑很正常，随着我们企业在市场上投放更多MOCVD设备样板工程，这个疑虑会逐渐打消。

记者：要企业通过心理槛，不但需要做样板工程，还需要得到政府哪些方面的支持?

甘志银：民族企业在市场成熟环境下是面临压力的，像我们这样一个由民间资本投资的民营企业，我们面临的压力更大。LED整个产业链变化的局面不是我们一家企业能够控制的，即使我们产品再好，没有强烈的市场需求，就会阻碍我们企业的发展。

在这个过程中我们需要政府的扶持，但不需要一次性补贴。如果政府补贴给我们做MOCVD设备的厂商，就会造成很多人无序的进入这个行业。 简单地说，我们需要政府对产业扶持和财政补贴，就像节能家电补贴一样补贴给市场、补贴给消费者，而不是补贴给企业，这样才能真正推动整个市场的发展，解决企业所担心的问题。

记者：昭信已经成功走出困扰很多国产设备厂商的第一步，您觉得昭信跟其他国产MOCVD设备厂商相比差异化优势是什么?

甘志银：在差异化方面，我们有足够多的思考。一直以来我们都把国际上进口产品作为样板，我们要考虑怎么比他们做的更好。我们的特色就是要把MOCVD设备“傻瓜化”。所谓MOCVD设备傻瓜化，并不是说不要我们的博士和高级研究人员，我们想把这些高级研究人员从设备中解脱出来，让他们专注做好LED芯片本身的设计，剩下的事情由一般人员进行操作，甚至不需要过多的人工干预设备就能做出产品。从这个程度上讲，把MOCVD设备做成“傻瓜化”就是我们的优势。

尤其是做大型设备，没有好的技术支撑是根本做不出好产品的。我是技术出身所以特别专注技术，我们把技术做强了就能拿出真金白银的东西，就不怕没有竞争力。再者说，MOCVD设备可是价值几百万甚至上千万，不管是使用方，还是供应方，都是有强烈的责任，一定要把产品做到客户所希望的水平，所以必须真金白银。

记者：现在公司已经交付了第二台设备，未来还有什么样的计划?

甘志银：我们已经交付了第二台设备，未来几个月还有四台设备要交付。现在我们的设备可以媲美国外设备，企业观望我们我非常理解。我们在做的四台设备，将在2014年2月份之前基本完工。我们会把这些设备投放到市场中，让市场去检验我们设备的品质，并希望以此形成样板力量。

记者：您觉得在未来十年想要把握住发展的主动权应该怎么做?应该在哪些方面进行提升?

甘志银：未来十年企业如何定位发展，肯定更多的重心会放在企业服务上，而不仅仅是放在产品上。另外，我们过去把百分之百的精力都投入在产品研发这块，已经形成部分储备。今后MOCVD设备该怎么走，我们花了很多功夫对它的路线进行规划。现在我们在做的几个事情：第一，站在企业的角度，对设备进行提升;第二，希望把现有的产品技术进行标准化，让所有LED外延企业都站在比较好的基础上，提供标准化的平台，在标准化产品上再去显示差异化。我们这样做也是受形势所迫，不这么做，就显示不出我们国产MOCVD设备的优势，我们必须比国外设备做更多的铺垫才能为其市场开路。

记者：最后畅想一下，觉得未来十年MOCVD设备会达到什么水平?

甘志银：我对LED行业充满信心，也希望LED产业越来越红火，这样我们MOCVD设备才会有更大的发展空间。谈及未来，也只是一种愿景,但未来的照明一定是LED白光照明，未来的十年也一定是国产MOCVD设备的天下。我对此充满十足的信心，也是因为我充满信心，才带领一大批团队不断的为这个目标而奋斗。